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4KA231-06,CKD残压排出阀工作原理
采用流量比例型模拟输流量范围 ±0.05、±0.1、±0.5、±1、±5、±10 ?型·
·高速检测1ml/min以下的微小流量适用于泄漏检查、气孔检流量范围 5、10、50
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断电时，电磁力消失，弹簧把关闭件压在阀座上，阀门关闭。特点：在真空、负
Power, the electromagnetic force disappears, the spring to close the pieces
压、零压时能正常工作，但通径一般不超过25m可测量两个方向的流量列m。
式，压力不同的集成模块之间加流路隔板(GM1-01)超小型·超高速响应 FSM-V系列
·超小型外观，可安装在微小的间隙以高低2种不同压力向1个集成供气中、100 ml/min
·流量范围 ±0.5、±1、±5、±10、0.5、1、5、10 ?背面配管方配管过程中无论如何也
Pressure, zero pressure when the normal work, but generally not more than
，可将A·B口的一部分或全部采用集成底部配管的方式高速·微小流量 FSM-H系列。
2、分步直动式电磁阀：原理：它是一种直动和先导式相结合的原理，当入口与出
口没有压差时，通电后，电磁力直接把先导小阀和主阀关闭件依次向上提起，阀
in the valve seat, the valve closed. Features: In vacuum, negative
门打开。当入口与出口达到启动压差时，通电后，电磁力先导小阀，主阀下腔压力
上升，上腔压力下降，从而利用压差把主阀向上推开；断电时，先导阀利用弹簧力
或介质压力推动关超小型·轻量·高速响应 FSM-X系备有模拟输出型和开关输出
·实现重量4g、薄宽度8mm。圈产生电磁力把关闭件从阀座上提起，阀门打开；
4KA231-06,CKD残压排出阀工作原理
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