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更新时间：2022-11-18 浏览数：23
所属行业：电子> 传感器、敏感元器件(电子元器件)> 其他传感器、敏感元件
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神视日本晶圆定位传感器
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因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
可从四个方向引出电缆
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。
定时器功能
装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式
通过反射光位置而非反射光量进行检测。
内置放大器的小巧、轻盈型
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，
质量约为75g的小巧、轻盈型。
中心测量距离 45mm
检测物体
3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面
有受光方向反射面的端面形状的检测面
反应时间 500μs以下
工作状态指示灯
橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯
绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。
激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
因此，对于使用单波长激光的传感器，
可能会因光全被吸收而无法检测。
安全性的LED式
以往使用激光的激光式定位传感器，
即使氮化膜晶圆也可准确检测。
0.5ms的高速反应
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置检测
利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。
亦可检测玻璃晶圆
M-DW1以反射光的位置来检测，
不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
可检测涂氮晶圆
可根据传感器的设置情况灵活调节。
SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
电源电压
12?24V DC±10% 脉动P-P10%以下
消耗电流 65mA以下
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，
晶圆间距
间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
适用晶圆盒
而LED光源的光具有一定波长段，
神视日本晶圆定位传感器
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