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派克PARKER液体MFC D2000I系列控制器

更新时间:2022-11-18   浏览数:47

所属行业:仪器仪表> 温度仪表> 温度控制器

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  派克parker液体mfc d2000i系列控制器

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  简介:

  波特d2000i系列液体质量流量控制器旨在满足快速,控制半导体制造工艺中液体前体的需求,闭环数字控制电路与整体比例压电驱动控制阀相结合,可提供响应时间低于一(1)秒,在低流量下稳定控制。无尘室组装和所有金属密封结构确保高纯度和泄漏完整性。独特的层流旁路和传感器组件提供的测量,流体温度仅上升5°c。d2000i系列的紧凑封装尺寸简化了系统集成。d2000i系列液体质量流量计适用于仅需要流量监测的应用。

  液体流量控制器

派克PARKER液体MFC D2000I系列控制器

  派克液体流量控制器旨在满足快速,控制半导体制造工艺中液体前体的需求,以及生物技术,制药,化学,石化和表面处理行业的各种应用。无尘室组装和所有金属密封结构确保高纯度和泄漏完整性。

  派克parker液体mfc d2000i系列控制器

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