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azbil蓝宝石隔膜真空计CP-SS-1881C产品介绍
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特征:
电容式隔膜真空计测量的真空度与气体成分无关,
反应快、重复性高,非常适合于氧气及油蒸气等
特殊环境的真空测量。
实物图:
分类:
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,
可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学
性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应
的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)
和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有
皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效
应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
规格:
工作原理:
电容式隔膜真空计是利用隔膜在气体分子作用下
发生变形而测量压强的真空计,其基本原理如图
1所示。电容式隔膜真空计内部有两个空间,隔
膜右侧连接真空,左侧的参照空间可以保持在大
气压或其他一定的真空度。如果p2 <p1,则隔膜
就如图1所示向右侧变形;反之,就向左侧变形。
隔膜和电极之间处于绝缘状态,两者之间的距离
随p2 的变化而改变,从而引起其间的电容变化。
反过来,通过测量隔膜和电极之间的电容,就可
知隔膜的变形量,继而推算出压强。
皮拉尼电阻规:
也叫做热电阻真空计,它是利用电阻与温度之间
关系的原理工作的。
如右图所示,由于不同气压下气体分子热传导能
力不同,当给热丝加恒定的电流时,由于气压不
同通过气体传导走的热量不同,热丝所保持的温
皮拉尼电阻规
测量的准确度。
这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同气体在相同气压时导热性不同,所以这
皮拉尼电阻规
度就不同,这导致热丝电阻大小不同,通过测量
热丝电阻大小就可以推算气压大小。
如果配合电桥测量热丝电阻的变化,将有效提高
种规需要在不同的使用气体下标定。
尺寸图:
azbil蓝宝石隔膜真空计CP-SS-1881C产品介绍