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更新时间：2024-11-20 浏览数：33
所属行业：仪器仪表> 控制仪表> 传感器
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着重介绍IFM易福门PK6520压力传感器的信息
场发射真空传感器：
场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新
空度的关系。并利用干法刻蚀工艺， 在硅片上制作了
高3.2μm， 曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列。
型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过
理论分析， 确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真
保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下， 可以观察到阳
极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。
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材料介绍；
压电压力传感器中主要使用的压电材料包括有石英、酒
石酸钾钠和磷酸二氢胺。其中石英（二氧化硅）是一种
所替代。而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电系
数，但是它只能在室温和湿度比较低的环境下才能够应
天然晶体，压电效应就是在这种晶体中发现的，在一定
居里点”）。由于随着应力的变化电场变化微小（也就
说压电系数比较低），所以石英逐渐被其他的压电晶体
的温度范围之内，压电性质一直存在，但温度超过这个
范围之后，压电性质完全消失（这个高温就是所谓的“
用。磷酸二氢胺属于人造晶体，能够承受高温和相当高
的湿度，所以已经得到了广泛的应用。
型号：
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