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更新时间:2024-12-18 浏览数:52
所属行业:机械设备> 阀门> 电磁阀
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单 价:面议
HVB系列的CKD喜开理高真空用电磁阀
CKD电磁阀HVB212-4RM-2-2CB-DC24V



【高真空适用】
真空泄漏量1.0×10^-9Pa??/s以下,适用于高真空系统。
【轻量、紧凑】
采用薄型线圈,轻量紧凑。
【产品种类】
可从5个线圈尺寸、多个节流孔径中选择佳规格。

【连接选择项丰富】
备有VCR兼容接头(JXR接头)、双卡套接头一体型,可保持真空容器、配管的真空度。
CKD高真空用电磁阀在阀体中装有密封头,外装有电磁线圈密封头和阀体之间装有橡胶密封环其特征是:密封
环和阀体之间的安装为弹性浮动式,密封头的结构为自由浮动式,同时密封环和密封头改为高弹性体。
维护容易
部件数量少,构造简单。
种类丰富
通径 :φ1?φ2?φ3?φ4.5?φ6、
线圈宽度22?28?34?40mm。
安装方式自由
可根据安装空间自由安装。
可有效节省空间。
高真空维持能力
低泄漏,真空保持力稳定。
可以使用背压。反响真空
高耐腐蚀材料
阀体采用不锈钢SUS303
VCR接头是SUS316
交流电哼声消除
线圈DC化后,不发生交流电哼声。
采用特殊密封料
FKM制造,密封寿命优异。

HVB系列的CKD喜开理高真空用电磁阀
功能特点:
1)HVB系列的CKD喜开理高真空用电磁阀采用金属波纹管密封结构,在10^5次动作循环后泄漏率仍低于5×10^{-10} Pa·m3/s,符合SEMI F1标准。
2)线圈采用环氧树脂封装,绝缘等级达Class H,可耐受200℃高温环境。
3)阀体内部流道经过电化学抛光处理,表面粗糙度Ra≤0.4μm,减少气体吸附与颗粒残留。
4)内置弹簧复位机构,断电后自动关闭,响应时间≤15ms。
5)配备LED指示灯与浪涌吸收二极管,延长控制器寿命。
6)防护等级IP65,可耐受洁净室冲洗与轻度化学蒸汽。
适用范围:
1)半导体晶圆传输腔室的背底真空维持系统。
2)平板显示器制造中的真空蒸镀设备。
3)真空镀膜机中被抽气体切换与隔离。
4)加速器束流管道的真空连锁保护。
5)超导磁体低温杜瓦的抽真空管路。
6)科研用原子力显微镜(AFM)的真空腔体接口。
与其他产品对比:
| 对比项目 | HVB系列高真空用电磁阀 | 普通电磁阀 | 气动波纹管阀 |
|----------|------------------------|------------|--------------|
| 泄漏率(Pa·m3/s) | <1×10^{-9} | 10^{-6}量级 | 10^{-8}量级 |
| 工作压力范围 | 大气压~10^{-7} Pa | 0.1MPa以上 | 大气压~10^{-6} Pa |
| 动作寿命(次) | ≥100万 | 50万 | 200万 |
| 线圈功耗 | 4.5W(DC24V) | 8~15W | 依赖气源 |
| 适用介质 | 惰性气体、氧气、N? | 洁净气体 | 所有气体 |
| 安装方向 | 竖直30°以内 | 任意 | 任意 |
核心优势:
1)采用镍基合金阀芯与PCTFE阀座,抗冲击且密封力稳定,适应频繁开关。
2)线圈模块化设计,无需拆卸阀体即可更换,维护时间缩短60%。
3)内置消音器,动作噪音≤45dB,满足实验室静音要求。
4)阀体预留KF16/25快速接口,兼容主流真空管路。
5)通过RoHS与REACH认证,适用于光刻胶等敏感物料接触。
选型与使用注意事项:
1)确认系统极限真空度与工作压力:本阀适用于高真空(10^{-1}~10^{-7} Pa),不适用于超高真空(<10^{-7} Pa)。
2)电源电压波动范围应为DC24V±10%,纹波<1%,否则需加稳压模块。
3)配管前用无水乙醇清洁接口并吹干,避免油脂污染阀座。
4)首次安装后需进行氦质谱检漏,合格后方可投入运行。
5)若用于氧气环境,必须选用脱脂型号(在型号后加“-O2”标识)。
6)避免长期在真空侧反向加压(即出口压力高于入口),否则可能损坏波纹管。
常见问题解答:
1)问:HVB系列电磁阀能否直接用于大气直排?
答:可以,但建议在排气口加装消音器,避免气流冲击造成阀芯振动。
2)问:线圈损坏后如何快速更换?
答:松开两枚固定螺丝,拔出旧线圈,插入新线圈并锁紧,全程无需工具,约2分钟完成。
3)问:该阀能否替代手动挡板阀?
答:可替代部分小口径手动阀,但需确认信号接口与控制逻辑是否匹配现有系统。
4)问:长期不动作时建议如何保养?
答:每6个月通电动作3~5次,防止密封件粘连;同时检查线圈绝缘电阻是否>100MΩ。