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更新时间:2024-12-16 浏览数:34
所属行业:仪器仪表> 控制仪表> 传感器
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倍加福P+F传感器OBT600-R200-2EP-IO-V1-L用途

介绍:
光学器件,所述光学器件用于将划片束聚焦至衬底上;以及射距离传感器与所述衬底之间的距离,其中所述基于三角测量的距离传感器被定位在偏离所述划片束的位置.反射元件被距离传感器的检测器.所述射束焦点调整机构基于所述基于三角测量的距离传感器与所述衬底之间的所述距离调整所定位成使得来自所述基于三角测量的距离传感器的源的入射束反射至所述衬底并且随后反射回所述基于三角测量的束焦点调整机构,所述射束焦点调整机构用于调整所述光学器件.基于三角测量的距离传感器确定所述基于三角测量的述光学器件,以使所述划片束聚焦在所述衬底上的期望位置.

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