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更新时间:2025-05-23 浏览数:4
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823901-032048海德汉编码器EQN1325.035

干涉扫描原理是利用精细光栅的衍射和干
涉形成位移的测量信号。
阶梯状光栅用作测量基准:高度0.2 μm的
反光线刻在平反光面中。光栅尺前方是扫
描掩膜,其栅距与光栅尺栅距相同,是透
射相位光栅。
光波照射到扫描掩膜时,光波被衍射为三
束光强近似的光:-1、0和+1。光栅尺衍
射的光波中,反射的衍射光的光强强光
束为+1和-1。这两束光在扫描掩膜的相位
光栅处再次相遇,又一次被衍射和干涉。
它也形成三束光,并以不同的角度离开扫
描掩膜。光电池将这些交变的光强信号转
化成电信号。LEUZE MA 258i EtherNet/IP
ACE MA 30M-BP
AIRTAC MA16*50-S-U
AIRTAC MA16*75-S
AIRTAC MA16X20SCA
AIRTAC MA20*125-S
AIRTAC MA20*150
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AIRTAC MA20*50-S
AIRTAC MA25X75SU
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IDEC MA2L-M1141PW
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ACE MA3350M
IDEC MA3L-A
IDEC MA3L-A AC/DC 24V
IDEC MA3L-A2341PW
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PAGN-40-1.6M-G18
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