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更新时间：2024-12-20 浏览数：44
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详细介绍SMC三联件，AQ5000-06
上海乾拓贸易有限公司
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(L型/直通型) 动作方式 轴密封方式 阀形式 材质 法兰尺寸
XMA/XYA 气控 波纹管密封 单作用
XMH/XYH 手动 波纹管密封 手动 阀体：
特长 采用铸造一体化结构，无气体滞留。
与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)
磁性开关 D
系列 磁性开关种类 内容
D Series 有触点的磁性开关 一般 (通用型)
无触点的磁性开关 一般 (通用型)
系列/CAD 动作方式 轴密封形式
阀形式 材质 法兰尺寸
XLA 气控 波纹管密封 单作用
XLS 电磁式 波纹管压力平衡 单作用
(N.C.) 16, 25
特长 抗氟腐蚀能力强。
放出气体少。
特长 对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送
室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。
系列/CAD 使用环境压力｛Pa (ABS)｝ 缸径 (mm)
CYV 大气～1.3×10-4 15,32
特长 真空环境内 (1.3×10-4Pa) 在搬运场合可以使用的气缸。
重金属污染少。
铝制快换接头装拆 高真空L型阀 XLAQ·XLDQ
系列/CAD 动作方式 轴密封形式 阀形式 材质 法兰尺寸
XLAQ 气控 波纹管密封 单作用
SUS316L 16～50
XLDQ 波纹管密封
O形圈密封 40,50
特长 快换接头装拆 (无需工具)
不锈钢制高真空L型阀／直通阀 XM/XY
注）对直通型无尺寸16的阀。
系列/CAD
系列/CAD 阀形式 使用流体 配管连接方式 配管尺寸
XVD 常断
(加压通/弹簧密封) 氮气、空气、惰性气体等 VCR®
Swagelok® 1/4B
特长 阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
(阀芯)座部分采用间隙隔膜，微粒子数量大幅降低。
伴随主供气初期供气可进行流量调整。
详细介绍SMC三联件，AQ5000-06
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