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更新时间：2024-12-20 浏览数：43
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日本SMC无杆气缸型号，SMC机械接合式无杆气缸
接线方式可选择垂直出线式或直角出线式两种。
系列/CAD 接管口径 气罐容量 (L)
VBAT 3/8,1/2,3/4 5,10,20,38
F为标准型，IDU为高温型
另外IDUS和IDFS为带不锈钢热交换器型。
地直接连接的小容量气罐。
能作为气罐单独使用。
半导体制造过程中，腐蚀装置、喷镀装置
放在真空室内处理，该真空
离子注入装置和CVD装置等许多部分
特长 能和增压阀紧凑
利用冷媒与压缩空气进行热交换
把压缩空气冷却至2~10℃的范围
以除去压缩齐齐中的水分（水蒸气成分）
供气、排气(真空)用阀，
要求它们无泄漏、耐腐蚀且是洁净规格。
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日本SMC无杆气缸型号，SMC机械接合式无杆气缸
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